记者6月16日从松山湖资料实验室得悉，松山湖资料实验室精细仪器研制团队成功自研台阶仪，完结了国产化台阶仪零的突破，加快国产代替。

  据悉，台阶仪，又叫探针式外表概括仪，用于样品外表从微米到纳米标准的概括丈量，是微电子、半导体、太阳能、高亮度LED、触摸屏、医疗、科学研究和资料科学等范畴必不可少的要害丈量设备。长期以来，此类仪器被美国Bruker、美国KLA、日本Kosaka三家厂商独占，国内尚无厂商可提供同类产品。

  “台阶仪的研制，需求‘四个超’：超精细的运动操控，超精细位移传感，超低噪声信号收集，超高平整度零部件等要害技能。”团队负责人许智指出，松山湖资料实验室精细仪器研制团队在这些范畴均有丰厚的经历堆集和厚实的技能储备。并且，依据此前自主研制的系列化压电驱动纳米位移台产品和扫描探针显微镜制备技能，可以敏捷完结方案设计，并开端功用样机、工程样机的迭代开发。

  据悉，该项目2020年12月内部立项，2021年5月，测验样品，2022年4月，样机进产线月，正式机台投入到正常的运用中。至此，国产化台阶仪迈出了里程碑式一步。

  “要害丈量仪器设备完结国产化，最要害之处就在于完结了自主可控。现已交给的台阶仪可满意企业实际运用的方针要求，且比照同类进口设备，本钱降低了约30%。”许智表明。

  值得一提的是，项目组研制了三种不同测验需求的类型，可供客户依据要挑选相应装备，并配套自研软件实时显现丈量图表数据。现在，团队正在与十余家有相关需求的企业、科研院所洽谈协作中。

  据悉，松山湖资料实验室精细仪器研制团队以自主知识产权的技能为中心，展开精细科研仪器和工业自动化设备的工业转化。其研制的桌面式扫描电子显微镜、大行程纳米位移台等产品为国内仅有量产，等离子体化学气相堆积体系、扫描隧道显微镜体系等产品到达世界一流、国内领先水平。

  “精细仪器研制团队以国家战略为导向，以市场需求为方针，力求成为有担任、有作为的顶级仪器工业化部队。”许智表明。